一、材料：

ワークベンチ面：酸化アルミニウムセラミックで、内部に中空構造を形成しており、多孔質基体に負圧力を加えることで被吸着物を吸着、固定する；

台座及びフレームの素材：アルミニウム合金、ステンレス鋼、セラミックな。

二、优点メリット：

1、高硬度　2、放熱が速い　3、耐摩耗性　4、耐酸性・耐アルカリ性、腐食に強く、極めて厳しい環境にも適応できる。

三、基本パラメータ：

微孔セラミック真空吸盤は平面度、平行度が高く、微孔の分布が均一で、通気性が良く、吸着力が均一で、滑らかできめ細かい；

加工対象：2、3、4、5、6、8、12 インチ及び非標準規格でのカスタムメイドのウェーハなど；

サイズ：85mm - 8800mm、微孔サイズ：20 - 60μm、気孔率：30 - 50%；

お客様のニーズに応じて様々な非標準規格の吸盤を設計およびカスタマイズすることができる。