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トップペ 製品 12 インチチャック：許容反り範囲 ±5mm
12 インチチャック：許容反り範囲 ±5mm
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特徴：エッジグリップ方式で、センタリング機能を有し、ウェハの大気中搬送を実現します。。


対応ウェハ：タイコウェハ、薄ウェハ等に対応。端部は接触可、表/裏面は接触不可；推奨厚さ 300μm 以上、またはタイコリング厚さ 425μm 以上、反り範囲は ±5mm 以内。


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