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トップペ 製品 12 インチ ベルヌーイチャック
12 インチ ベルヌーイチャック
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特徴：ベルヌーイ式吸着方式。摩擦パッドによるセンタリング機能を備え、有無センサを搭載可能。特殊ウェハの大気中搬送を実現します。


対応ウェハ：タイコウェハ、薄ウェハ（推奨厚さ 40μm 以上）、反り範囲 ±3mm 以内。


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