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トップペ 製品 非接触式 12 インチ ベルヌーイチャック
非接触式 12 インチ ベルヌーイチャック
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特徴：ベルヌーイ式吸着方式。チャッキング時にセンタリング機能を備え、在位センサを搭載可能。ウェハの非接触搬送を実現します。


対応ウェハ：タイコウェハ、薄型加工ウェハ（推奨厚さ 50μm 以上）



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