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トップペ 製品 多孔質吸着チャック（脆性材料対応）
多孔質吸着チャック（脆性材料対応）
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特徴：Y 型チャック、多孔質素材製。吸着力が均一で、ウェハの大気中搬送を実現可能。


対応ウェハ：ウェハ裏面接触可能（推奨厚さ 20μm 以上）、許容反り範囲 ±0.1mm 以内。2/4/6 インチに対応。


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