トップペ 製品 I 型チャック:2/4/6 インチウェハ対応
I 型チャック:2/4/6 インチウェハ対応
特長

特徴:I 型チャック。在位センサを搭載可能で、ウェハの大気中搬送を実現できます。


対応ウェハ:ウェハ裏面接触可能(推奨厚さ 425μm 以上)、許容反り範囲 ±0.3mm 以内。2/4/6 インチに対応。