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トップペ 製品 Y 字型チャック（吸着式）
Y 字型チャック（吸着式）
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特徴：負圧吸着方式。有無センサーを搭載可能で、ウェハの大気中搬送を実現できます。


対応ウェハ：ウェハ裏面接触可能（推奨厚さ 200μm 以上）、許容反り範囲 ±0.1mm 以内。6/8/12 インチウェハに対応。


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