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トップペ 製品 3D プリント一体型チャック
3D プリント一体型チャック
特長
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一、特徴：

1、一体成型：CFD 解析により流路を最適化。吸着部本体と一体成形で 3D プリントを行い、リーク及び圧力損失を防止。


2、均一な吸着：微細穴の圧力・流速を均一に保ち、大型かつ反りのあるウェハに対する吸着安定性を大幅に上回る。

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