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トップペ 製品 パット付きチャック、3mm 以内の反りに対応可能
パット付きチャック、3mm 以内の反りに対応可能
特長
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特徴：パットによる負圧吸着方式。ワーク有無センサーを搭載可能で、ウェハの大気中搬送に対応。


适配晶圆：可背面接触Wafer（推荐厚度200μm以上）翘曲±5mm以内；可实现6/8/12 inch兼容。


対応ウェハ：裏面接触可能（推奨厚さ 200μm 以上）、反り ±5mm 以内。6/8/12 インチに対応可能。





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